جميع المنتجات
1 ميكرومتر وسائط ترشيح معدنية لتنقية غازات عمليات أشباه الموصلات --- تصنيع الرقائق مع التحكم في المواد الكيميائية الجوية
اتصل بي للحصول على عينات مجانية وكوبونات.
ال WhatsApp:0086 18588475571
ويتشات: 0086 18588475571
سكايب: sales10@aixton.com
إذا كان لديك أي قلق ، فنحن نقدم مساعدة عبر الإنترنت على مدار 24 ساعة.
xتفاصيل المنتج
| الطول | 80-100 ميكرومتر | Packing | flexible |
|---|---|---|---|
| Application | Semi-conductor Gas Filter/High Purity Gas Filters Solution | المواد | الفولاذ المقاوم للصدأ 316L/Hastelloy C22/C59/Nickel 200 |
| قطرها | 1um/1.5um/2um |
منتوج وصف
عنصر فلتر معدني 1μm(على نطاق نانوي)لتنقية غازات العمليات شبه الموصلة
نوع المنتج: الألياف القصيرة من الفولاذ المقاوم للصدأ فائقة الدقة 316L
قطر الألياف: 1um / 1.5um / 2um متاحة
طول القطع: 80-100um
التركيب الكيميائي للمواد الخام ((Wt٪))
|
العناصر |
ج |
نعم |
م
|
نـي
|
سي سي
|
(مو)
|
S
|
(ب)
|
|
المعيار
|
≤0.03
|
≤1.00
|
≤2.00
|
10~14
|
16~18
|
2~3
|
≤0.03
|
≤0.045
|
|
القيمة
|
0.028
|
0.56
|
0.5
|
10.85
|
16.97
|
2.1
|
0.003
|
0.027
|
في تصنيع أشباه الموصلات، الحفاظ على غازات العملية عالية النقاء أمر بالغ الأهمية لمنع العيوب وضمان غلة عالية.الوسائط المرشحة المعدنية تلعب دورًا حيويًا في تنقية الغاز عن طريق إزالة الملوثات الجسيمية مع المساهمة أيضًا في مكافحة التلوث الجزيئي المحمول بالهواء.والذي ضروري لصناعة رقائق متقدمة.
الميزات الرئيسية والفوائد
تصفية عالية الكفاءة (احتفاظ 1μm)
يلتقط الجسيمات تحت الميكرون التي يمكن أن تسبب عيوب في عمليات التصوير الحجري والحفر والترسب.
يقلل من خطر تلوث سطح الوافر، وتحسين الغلة.
غير فعالة كيميائيا ومقاومة للتآكل
مصنوعة من نقاء عاليالفولاذ المقاوم للصدأ (316L) ، النيكل، أو سبائك محترقةللتوافق مع الغازات العدوانية (على سبيل المثال، HF، HCl، NH3).
يقاوم التلوث ويمنع التلوث الإضافي
قدرة التحكم في AMC
بعض المرشحات المعدنية المتقدمة تتضمنالمعالجات السطحية أو الطلاء(على سبيل المثال ، التجاوز ، التلميع الكهربائي) للحد من امتصاص / إزالة المواد العضوية المتطايرة أو الأحماض.
يساعد على التعرفSEMI F21 AMC الفئة 1المتطلبات الخاصة بالعمليات الحساسة مثل التصوير الحجري لـ EUV.
مقاومة درجات الحرارة العالية والضغط
أداء مستقر في ظروف قاسية (حتى 500 درجة مئوية أو أكثر لبعض السبائك).
مناسبةالأمراض الدموية القلبية، الانتشار، وزرع الأيوناتخطوط الغاز
حياة خدمة طويلة ويمكن تنظيفها
قابلة لإعادة الاستخدام بعد التنظيف (الأساليب فوق الصوتية أو الكيميائية أو الحرارية) ، مما يقلل من تكلفة الملكية.
تصميم انخفاض ضغط منخفض لتدفق الغاز بكفاءة الطاقة.
التطبيقات في تصنيع أشباه الموصلات
إمدادات الغاز ذات النقاء العالي للغاية(N2، Ar، H2، O2، الخ)
عمليات الحفر والترسب(CVD، PVD، ALD)
التصوير الحجري(بيئات EUV/DUV حساسة لـ AMC)
تصفية الغازات السائبة في نقطة الاستخدام
لماذا المرشحات المعدنية بدلا من البدائل؟
متانة متفوقةمقابل المرشحات البوليمرية (التي يمكن أن تتحلل وتسرب الجسيمات).
لا يوجد تسرب للأليافعلى عكس مرشحات HEPA/ULPA التقليدية.
تحسين تخفيف AMCمقارنة بمرشحات الجسيمات القياسية.
الامتثال والمعايير
سي إم إيه إف 20(تحكم الجسيمات)
سي إم إيه إف 21(تصنيف AMC)
الصيغة ISO 14644-1(معايير غرفة النظافة)
الاستنتاج
وسائل تصفية معدنية 1μmهو حل قوي لتنقية غازات أشباه الموصلات، يجمع بينتصفية الجسيمات، التحكم في AMC، والمقاومة الكيميائيةلتلبية المتطلبات الصارمة من تصنيع رقائق متقدمة.
المنتجات الموصى بها
